C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded 本法は，ふっ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるに必要な内部圧力を決定するための標準手順を規定する。

本法は，ふっ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるに必要な内部圧力を決定するための標準手順を規定する。

the meaning of its contents

SEMI E140-0305 (first published)

and Safety Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment

The primary focus for this Test Method is semiconductor processing equipment including

C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded 本法は，ふっ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるに必要な内部圧力を決定するための標準手順を規定する。global Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org1984200211 : (Si2H6) Referenced SEMI Standards SEMI C1 Specifications for Reagents SEMI C3 Specifications for Gases