F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F83-1012 - Inactive SEMI S2-0724 (technical revision)

SEMI S2-0724 (technical revision)

thin film head

The grid is defined such that it contains 1000 elements of approximately equal area

본 버전은 global Audits and Reviews Subcommittee 에 의해 2013년 6월 4일 간행이 승인되었다

本スタンダードは，適切な仕様レベルを設定することを目的とし，すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ，技術革新への制限を最小限にしようとするものである。本仕様では，目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより，ほとんどの要求条件を代数的に表現している。カセットのメカニカルインタフェースだけが規定されている。すなわち，材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限などは規定されていない。ただし，本スタンダードは色々な設計や材料のカセットがこれに準拠して製造されるようにまとめている。

F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Revision:SEMI F83-1012 - Inactive SEMI S2-0724 (technical revision)global Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 22 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used