E03700 - SEMI E37 - Specification for High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services StdVol-Gases 本文書は，プロセスパネルのパーティクル発生性能を比較するテスト方法を説明する。このテスト方法は，プロセスパネルの清浄度を「受け取られたまま」の状態および正常稼働状態で評価する。「受け取られたまま」の状態でのテストが意図するのは，ユーザがプロセスプロセスパネルメーカーの製作，清浄化，および包装の技術を評価できるようにすることである。実際の稼働状態でのテストが意図するのは，ユーザがメーカーの部品選択およびパネル設計の品質を評価できるようにすることである。両方のテスト方法に記述された規定流量は，典型的なプロセスパネルのための比較的大きな流量の条件を表現している。

本文書は，プロセスパネルのパーティクル発生性能を比較するテスト方法を説明する。このテスト方法は，プロセスパネルの清浄度を「受け取られたまま」の状態および正常稼働状態で評価する。「受け取られたまま」の状態でのテストが意図するのは，ユーザがプロセスプロセスパネルメーカーの製作，清浄化，および包装の技術を評価できるようにすることである。実際の稼働状態でのテストが意図するのは，ユーザがメーカーの部品選択およびパネル設計の品質を評価できるようにすることである。両方のテスト方法に記述された規定流量は，典型的なプロセスパネルのための比較的大きな流量の条件を表現している。

- The metadata representation of selected SEMI Communication Standards

SEMI E63 — Specification for 300 mm Box Opener/Loader to Tool Standard (BOLTS-M) Interface

Significance — Use of this Guide in communications between customers and vendors can reduce the errors caused by the current use of different nomenclatures for the same feature of a leadframe

背景および動機

E03700 - SEMI E37 - Specification for High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services StdVol-Gases 本文書は，プロセスパネルのパーティクル発生性能を比較するテスト方法を説明する。このテスト方法は，プロセスパネルの清浄度を「受け取られたまま」の状態および正常稼働状態で評価する。「受け取られたまま」の状態でのテストが意図するのは，ユーザがプロセスプロセスパネルメーカーの製作，清浄化，および包装の技術を評価できるようにすることである。実際の稼働状態でのテストが意図するのは，ユーザがメーカーの部品選択およびパネル設計の品質を評価できるようにすることである。両方のテスト方法に記述された規定流量は，典型的なプロセスパネルのための比較的大きな流量の条件を表現している。High Speed SECS Message Services (HSMS) provides a means for independent manufacturers to produce implementations which can be connected and interoperate without requiring specific knowledge of one another. HSMS is intended as an alternative to SEMI E4 (SECS I) for applications where higher speed communication is needed or when a simple point to point topology is insufficient. SEMI E4 (SECS I) can still be used in applications where these and other