G01000 - SEMI G10 - プラスチックパッケージリードフレームの機械的標準測定方法 StdPbc-1119 SEMI 3D10-0814 (first published)

SEMI 3D10-0814 (first published)

The purpose of this Document is to provide specification for hydrogen chloride (HCl) that is used in the semiconductor industry

祖父条項（Grandfather Clause） — 本仕様の発行日より前に本仕様の前版に基づいて試験または認証された装置，サブシステム，およびコンポーネントは，電圧サグ対応力に影響を与える可能性のあるハードウェアまたはソフトウェアの設計変更が実施されるまでは，再試験および再認証を必要としない。

1 — Specification for Cluster Tool Module Interface 300 mm: Mechanical Interface and Wafer Transport

SEMI D3 — Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates

G01000 - SEMI G10 - プラスチックパッケージリードフレームの機械的標準測定方法 StdPbc-1119 SEMI 3D10-0814 (first published)global Assembly & Packaging Technical Committee201171global Audits and Reviews Subcommittee20118www. semiviews. org www. semi. org1996 : Referenced SEMI Standards None.