M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI用シリコン・オン・インシュレーター（SOI）ウェーハのための仕様 StdTpc-Stainless Steel Components SEMI M54-0924 (technical revision)

SEMI M54-0924 (technical revision)

SEMI C24-0813 (technical revision)

1-0303 (first published)

本文書の目的は，半導体産業で使用されるトリメチルホウ酸に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。本文書はトリメチルホウ酸に対して要求が認められたグレードのガイドも示す。ガイドの場合は，試験方法は統計的に有効となっていない場合がある。

SEMI 3D17 — Specification for Reference Material for Bonded Wafer Stack Void Metrology

M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI用シリコン・オン・インシュレーター（SOI）ウェーハのための仕様 StdTpc-Stainless Steel Components SEMI M54-0924 (technical revision)global Silicon Wafer Committee2010120global Audits and Reviews Subcommittee20102www. semi. org200711 CMOSLSI large scale integrated circuitSOI silicon on insulator130nm65nm45nmLSI200mm300mm150mmLSI Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers SEMI M20 Practice for Establishing a Wafer Coordinate System SEMI M35 Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated